用于湿处理碟状基材的装置及方法

摘要

本发明公开一种用于湿式处理碟状物件的装置，其包含有：一第一碟件；用于固持一单一碟状物件的固持构件，该单一碟状物件基本上与该第一碟件平行，第一配送构件，其用于在进行处理时将液体导入一位于该第一碟件与该第一碟件之间的第一间隙，其中该第一碟件是一硅碟件，其包含有至少99wt％的硅，在该碟状物件被进行处理的时候，该硅碟件会与处理液体接触。本发明进一步公开一种与该装置有关的方法。

主权项

1. 一种用于湿式处理碟状物件的装置，其包含有：1. 1第一碟件，1. 2固持构件，其用于固持一单一碟状物件，该单一碟状物件与该第一碟件基本上平行，1. 3第一配送构件，其用于在进行处理时将液体导入位于该第一碟件与该碟状物件之间的第一间隙，其中该第一碟件是一硅碟件，该硅碟件包含有至少99wt％的硅，在该碟状物件被处理时，该硅碟件与处理液体进行接触。