| 发明名称 | 一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器 | ||
| 摘要 | 一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器，其特征在于衬底(1)为硅单晶衬底，绝缘层(2)为二氧化硅绝缘层，叉指电极(3)采用N型掺杂多晶硅电极，气敏层(4)为纳米氧化锌气敏层。同现有技术比较，本发明具有以下突出的优点：本发明的电导型气敏传感器可以在室温下工作，不需要设置加热器，电极为掺杂多晶硅，使叉指电极和气敏层不易老化，有助于延长气敏传感器的使用寿命，尺寸很小，同时为气敏传感器实现微型化提供一种切实可行的技术方案，解决了气敏传感器微型化中的一大技术难题。 | ||
| 申请公布号 | CN100489514C | 申请公布日期 | 2009.05.20 |
| 申请号 | CN200410067543.1 | 申请日期 | 2004.10.25 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 季振国;赵士超;孙兰侠 |
| 分类号 | G01N27/407(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/407(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州之江专利事务所 | 代理人 | 连寿金 |
| 主权项 | 1. 一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器，包括衬底(1)，绝缘层(2)，叉指电极(3)，气敏层(4)，其特征在于：衬底(1)为硅单晶衬底，绝缘层(2)为二氧化硅绝缘层，叉指电极(3)采用N型掺磷的多晶硅电极，其掺磷的浓度为1018cm-3，电极宽度及其间距皆为5-100m，电极的对数不少于1对，气敏层(4)为纳米氧化锌气敏层，氧化锌颗粒尺寸为5-35nm。 | ||
| 地址 | 310027浙江省杭州市浙大路38号浙江大学材化学院 | ||