发明名称 SPRAYING DEVICE OF WET TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20090050603(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070117138 申请日期 2007.11.16
申请人 NEO ENG CO., LTD. 发明人 CHO, HONG GEUN
分类号 H01L21/304;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址