反应腔室泄漏的检测方法以及蚀刻及沉积方法

摘要

本发明是关于一种反应腔室泄漏的检测方法以及蚀刻及沉积方法。该反应腔室泄漏的检测方法，是首先在一反应腔室中通入一气体，且所通入的气体是以全流量的条件通入反应腔室中。之后，量测反应腔室中的压力是否异常，即可判断出反应腔室是否有泄漏。若有泄漏的情形发生，外界的空气将会进入反应腔室中而使反应腔室的压力提高，如此即可判断出反应腔室有泄漏。

主权项

1、一种反应腔室泄漏的检测方法，其特征在于其包括以下步骤：使一反应腔室内的压力小于大气压力；在该反应腔室中通入一气体，其中该气体是以全流量的条件通入该反应腔室中；以及量测该反应腔室中的压力是否异常，以判断该反应腔室与外界之间是否有泄漏。