Vorrichtung und Verfahren zum Stoppen eines Ätzprozesses

摘要

Ein Verfahren zum Ätzen einer Schichtanordnung, wobei die Schichtanordnung eine Zwischenschicht umfasst, die zwischen einer Ätzschicht und einer Stoppschicht angeordnet ist, wobei das Verfahren einen Schritt des Ätzens der Ätzschicht unter Verwendung eines ersten Ätzmittels und einen Schritt des Ätzens der Zwischenschicht unter Verwendung eines zweiten Ätzmittels umfasst. Das erste Ätzmittel umfasst eine erste Ätzselektivität von zumindest 5 : 1 bezüglich der Ätzschicht und der Zwischenschicht. Das zweite Ätzmittel umfasst eine zweite Ätzselektivität von zumindest 5 : 1 bezüglich der Zwischenschicht und der Stoppschicht. Das erste Ätzmittel unterscheidet sich von dem zweiten Ätzmittel.