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发明名称 VORRICHTUNG ZUR ELEKTRONSTRAHL-PVD-BESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60041953(D1) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 DE20006041953 申请日期 2000.08.03
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 BRUCE, ROBERT WILLIAM;EVANS, JOHN DOUGLAS;MARICOCCHI, ANTONIO FRANK;WILLEN, WILLIAM SETH;WORTMAN, DAVID JOHN;VIGUIE, RUDOLFO;RIGNEY, DAVID VINCENT
分类号 C23C14/30;C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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