发明名称
摘要
申请公布号 JP4265393(B2) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 JP20030412063 申请日期 2003.12.10
申请人 发明人
分类号 H01L51/50;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/56;H05B33/00;H05B33/10;H05B33/14;H05B33/22 主分类号 H01L51/50
代理机构 代理人
主权项
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