一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置

摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置，设有升降驱动组件和旋转驱动组件，升降驱动组件设有安装支架、直线导轨、滚珠丝杠，直线导轨和滚珠丝杠固定在安装支架上，坩埚轴通过坩埚轴轴承座，固定在坩埚支架上，坩埚支架通过过渡连接块与滚珠丝杠的螺母和直线导轨的滑块连接在一起；慢速电机与谐波减速器直联并通过离合器与蜗轮减速器的一端输入轴连接；坩埚的旋转驱动组件设有旋转电机，通过行星减速器及旋转楔型带与坩埚轴连接。本实用新型适用于拉制大尺寸、高品质单晶的单晶炉作为坩埚的驱动装置，具有结构合理，操作简便，保证坩埚能平稳升降和旋转运动，大大提高坩埚性能的特点。

主权项

1、一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置，设有升降驱动组件和旋转驱动组件，其特征在于：所述升降驱动组件设有安装支架(1.4)、直线导轨(1.3)、滚珠丝杠(1.2)，直线导轨和滚珠丝杠固定在安装支架上，坩埚轴(3)通过坩埚轴轴承座(1.6)固定在坩埚支架(1.1)上，坩埚支架通过过渡连接块(1.5)与滚珠丝杠的螺母(1.7)和直线导轨的滑块连接在一起；慢速电机(4)与谐波减速器(4.1)直联并通过离合器(4.2)与蜗轮减速器(5)的一端输入轴连接，蜗轮减速器的输出端与滚珠丝杠直联，蜗轮减速器采用双输入轴的方式，蜗轮减速器的另一输入端通过万向连轴节(5.1)与快速输入轴(5.2)连接；快速电机(6)和手轮(7)分别通过快速带轮(6.1)和手动带轮(7.1)与快速输入轴连接；坩埚的旋转驱动组件设有旋转电机(8)，通过行星减速器(8.1)及旋转楔型带(8.2)与坩埚轴连接，通过调整旋转电机位置可以调节旋转楔型带的松紧；坩埚旋转驱动组件通过旋转支架(8.3)与坩埚支架连接，在坩埚轴升降过程中，坩埚旋转驱动组件随着坩埚轴进行同步升降。