能量线检测元件

摘要

本发明涉及一种具有用于有效降低噪声的结构的能量线检测元件。该能量线检测元件具有能量线感应区域、输出部、多个电极和分压电路。能量线感应区域感应能量线的入射并产生电荷。在能量线感应区域的表面，以分别覆盖能量线感应区域的一部分的方式设置有多个电极。各电极与包含串联连接的多个分压电阻的分压电路电连接。分压电路通过电阻分压对来自直流电源的直流输出电压进行分压，由此，施加与电极分别对应的直流输出电位。输出部蓄积能量线感应区域内产生的电荷，输出与蓄积电荷量相当的电流信号或电压信号。

主权项

1. 一种能量线检测元件，其特征在于，具有：半导体基板，设置有根据能量线的入射产生电荷的能量线感应区域；输出部，蓄积在所述能量线感应区域内产生的所述电荷并输出与蓄积电荷量相当的电流信号或电压信号；多个电极，配置成分别覆盖所述能量线感应区域的一部分，用于将在所述能量线感应区域内产生的所述电荷向所述输出部传送；和分压电路，在连接到直流电源的状态下，配置于一端保持在低于另一端的电位的两个端部之间，包括相互串联连接的多个分压电阻，所述多个电极中对应的一个电极分别电连接到位于所述多个分压电阻之间的连接部分，通过从所述直流电源向所述两个端部施加直流电压，从而向所述多个电极分别同时施加由所述多个分压电阻生成的直流输出电位，这时，在所述多个电极下分别形成的势阱向着传送所述电荷的方向逐渐加深而成的势阱倾斜对于所述能量线感应区域仅形成一个。