Vorrichtung und Verfahren zur positionsgenauen Halterung eines Substrats

摘要

Es sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zur positionsgenauen Halterung eines Substrats (2) offenbart. Das Substrat (2) ist in einen Tisch (20) gelegt, der in einer Ebene in zwei senkrecht zueinander stehenden Raumrichtungen verfahrbar ausgebildet ist. Das Substrat (2) liegt auf drei punktförmig ausgebildeten Halteelementen (35) auf. Dabei ist mindestens eines der Halteelemente (35) in der Ebene beweglich ausgestaltet.