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发明名称 HALF-TONE PHASE SHIFT BLANKMASK AND IT'S MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20090050496(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070116956 申请日期 2007.11.15
申请人 S&STECH CO., LTD. 发明人 NAM, KEE SOO;CHA, HAN SUN;YANG, SIN JU;YANG, CHUL KYU;KANG, JU HYUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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