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经营范围
发明名称
AN APPARATUS FOR EXCHANGING POD OF SEMICONDUCTOR FABRICATION LINE
摘要
申请公布号
KR20090050201(A)
申请公布日期
2009.05.20
申请号
KR20070116505
申请日期
2007.11.15
申请人
TES CO., LTD.
发明人
CHO, BO HYEONG;LEE, HYUN O;KIM, BYEONG JO
分类号
H01L21/68;H01L21/677
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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