发明名称 | 用于制造分离彩色滤光片的侧壁间隔物及对应图像传感器的方法 | ||
摘要 | 本发明揭示一种提供具有彩色滤光片元件阵列的成像器的设备及方法,每一彩色滤光片元件通过间隔物而彼此分离。所述间隔物可在光学上将滤光片元件彼此隔离。 | ||
申请公布号 | CN101438411A | 申请公布日期 | 2009.05.20 |
申请号 | CN200780016627.4 | 申请日期 | 2007.03.30 |
申请人 | 美光科技公司 | 发明人 | 里夏德·D·霍尔舍;乌尔里希·C·伯蒂格 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方 |
主权项 | 1. 一种形成彩色滤光片阵列的方法,所述方法包含以下步骤:在像素阵列上形成钝化层;在所述钝化层上形成多个间隔物,以界定彩色滤光片元件的区域;以及在所述间隔物所界定的所述区域内形成多个所述彩色滤光片元件的图案。 | ||
地址 | 美国爱达荷州 |