发明名称 |
分段形标记对准信号处理方法 |
摘要 |
本发明提出一种分段形标记对准信号处理方法,通过对分段形标记的对准扫描形成的平顶波形进行卷积滤波处理,对光信息随扫描位置变化的非对称性波形进行非对称模型校正处理,以及对可能出现的旁瓣进行旁瓣滤波处理,减小逼近处理的误差,大幅提高对准精度和捕获精度,提高了分段形标记的对准扫描状态的适应性,进而提高了对准系统进行对准扫描的效率。 |
申请公布号 |
CN101436005A |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
申请号 |
CN200810203801.2 |
申请日期 |
2008.12.01 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
发明人 |
张 勇;宋海军;李焕炀 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈 蘅;李时云 |
主权项 |
1. 一种分段形标记对准信号处理方法,其特征在于包括以下步骤:同步采集分段形对准标记的绝对位置数据以及光信息数据,并对所述绝对位置数据进行空间变换,对光信息数据进行过滤处理;利用上述处理过的位置数据和光信息数据,建立对称逼近模型和非对称逼近模型,分别求两个模型的模型参数;根据上述模型参数计算分段形标记成像的对准位置数据。 |
地址 |
201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |