监测电子束能量的方法和装置以及辐照系统和方法

摘要

一种用于检测电子束能量的监测方法和装置，通过将多层电子吸收板置于电子束的边缘场中获取信号，并通过转换、分析获得电子束的能量信息。装置包括：第一层电子吸收板和第二层电子吸收板、信号获取与转换装置、分析装置及显示装置。所述第一层电子吸收板和第二层电子吸收板之间相互绝缘，可置于电子束边缘场中吸收电子束，通过电子束在吸收板中的沉积以获取信号，并通过转换、分析最终实时显示出来。该装置结构简单，成本小，应用于电子束辐照系统，可实时监视电子束能量及变化趋势，有利于改进辐照工艺及提高加工质量。

主权项

1、一种用于检测电子束能量的方法，包括：设置第一层电子吸收板和第二层电子吸收板，使所述第一层电子吸收板受到电子束的辐照，并且使第二层电子吸收板接受到没有被所述第一层电子吸收板吸收的、从所述第一层电子吸收板射出的电子束的辐照，以便通过吸收电子束而在所述第一层电子吸收板和第二层电子吸收板中累积电荷，其中所述第一层电子吸收板和第二层电子吸收板之间相互绝缘；以及将第一层电子吸收板和第二层电子吸收板中累积的电荷转换成与电子束能量对应的电信号。