发明名称 |
一种精确测量离子束束斑宽度的检测系统及方法 |
摘要 |
本发明公开了一种精确测量离子束束斑宽度的装置和方法,涉及离子注入机,属于半导体集成电路器件制造领域。该装置包括移动法拉第杯,剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。由计算机协调各部分动作并进行控制。测量方法包括移动法拉第杯沿水平方向穿过靶室;在移动法拉第杯停顿的每个位置点,对离子束流进行采样;采样信号经剂量检测器进行放大和模数转换后送给控制计算机存储;控制计算机同时记录对应的移动法拉第杯位置编码;在移动法拉第杯水平穿过整个靶室后,控制计算机根据得到的位置和束流数据计算出离子束斑的宽度值,计算公式为:W=p2-p1,p1-移动法拉第杯第一次采样到半束流的位置值;p2-移动法拉第杯第二次采样到半束流的位置值。本发明能够自动实现离子束斑宽度的精确测量,精度达7μm。 |
申请公布号 |
CN101436523A |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
申请号 |
CN200710175964.X |
申请日期 |
2007.10.17 |
申请人 |
北京中科信电子装备有限公司 |
发明人 |
唐景庭;邱小莎;龙会跃;伍三忠;郭健辉;钟新华 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1、一种精确测量离子束斑宽度的装置,包括移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器和控制计算机,其特征在于:所述的移动法拉第杯输出与剂量检测器连接;所述的剂量采样法拉第杯输出与剂量检测器连接;所述的数字扫描发生器输出与扫描偏转器连接;所述的电机运动控制器输出与移动法拉第杯驱动电机连接。所述的移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器与控制计算机连接,由计算机协调动作并进行工作。 |
地址 |
101111北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 |