| 发明名称 |
APPARATUS FOR MAKING ETCHING AREA ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090050878(A) |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
| 申请号 |
KR20070117546 |
申请日期 |
2007.11.16 |
| 申请人 |
DMS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, JIN HYANG;JUNG, CHANG HO |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/677;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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