发明名称 METHOD FOR FABRICATING VERTICAL CHANNEL TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR100898582(B1) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070087618 申请日期 2007.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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