发明名称 |
动态存储器单元结构 |
摘要 |
动态随机存取存储器单元包括电容存储器件和写存取晶体管。写存取晶体管可操作地耦合到电容存储器件并具有栅极堆,所述栅极堆包括高K绝缘体(424)和耦合到所述高K绝缘体的金属栅极电极(422),其中高K绝缘体具有大于二氧化硅的介电常数的介电常数。 |
申请公布号 |
CN101438400A |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
申请号 |
CN200780011899.5 |
申请日期 |
2007.04.03 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
蔡 劲;陆荣坚 |
分类号 |
H01L21/8242(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;G11C8/16(2006.01)I;G11C11/405(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8242(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
安之斐 |
主权项 |
1. 一种动态随机存取存储器单元,包括:电容存储器件;和写存取晶体管,所述写存取晶体管可操作地耦合到所述电容存储器件并具有栅极堆,所述栅极堆包括高K绝缘体和耦合到所述高K绝缘体的金属栅极电极,其中所述高K绝缘体具有大于二氧化硅的介电常数的介电常数。 |
地址 |
美国纽约 |