| 发明名称 |
A pattern dimension measuring method and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1102031(B1) |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
| 申请号 |
EP20010104828 |
申请日期 |
1996.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
MIZUNO, FUMIO;SATOH, OSAMU |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B15/00;G01N23/04;G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q60/24;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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