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发明名称 AN APPARATUS FOR SENSING CHROME PLANE OF MASK FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20090050195(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070116498 申请日期 2007.11.15
申请人 TES CO., LTD. 发明人 CHO, BO HYEONG;LEE, HYUN O;KIM, BYEONG JO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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