应变式微纳米级微纳米位移传感器

摘要

应变式微纳米级微纳米位移传感器，其特征是设置由各刚性杆体和柔性铰链构成的检测单元具有杠杆式位移量一级放大机构和位移量二级放大机构，本发明通过多级放大，使弹性体上的应变片能够检测到被测物体的移动，并通过外部信号采集和处理设备，获得检测结果。本发明具有高集成度、小体积、低能耗、高精度、低成本的优势，其结构简单、灵敏度高、易标定、可靠性好。

主权项

1、应变式微纳米级微纳米位移传感器，其特征是设置由各刚性杆体和柔性铰链构成的检测单元为：位移量一级放大机构，具有呈“L”形设置的一级杠杆，其一级短杆(11)为输入臂，其一级长杆(12)为输出臂，其与固定座连接的短杆端柔性铰链(13)为一级支点，一级被测位移量形成在一极短杆(11)上，以其与二级放大机构连接的长杆端柔性铰链(14)为被测位移量一级输出端；位移量二级放大机构(2)，具有直杆段杠杆(21)，其一端以直杆端柔性铰链(22)与固定座连接，另一端是与多自由度构件相连接的弹性体(3)；以所述直杆端柔性铰链(22)为二级支点，长杆端柔性铰链(14)到二级支点的距离为短臂，以长杆端柔性铰链(14)到弹性体(3)的距离为长臂；多自由度构件(4)，具有一段连接在所述弹性体(3)的另一端、作为直杆段杠杆(21)的延伸的承接杆(41)，承接杆(41)以其杆端柔性铰链(42)呈“L”形连接基座杆(43)，基座杆(43)的杆端通过基座柔性铰链(44)连接在固定座上；信号检测机构，是在所述弹性体(3)上设置应变片。