发明名称 用于制造抗反射薄膜的化合物以及抗反射薄膜的制造方法
摘要 一种用于制造抗反射薄膜的化合物以及抗反射薄膜的制造方法。化合物具有Si(OR)<sub>3</sub>-O-[Si(OR)<sub>2</sub>-O]<sub>n</sub>-Si(OR)<sub>3</sub>的结构,式中,R选自C<sub>3</sub>H<sub>9</sub>-、C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>-或CH<sub>3</sub>-,并且n为1至15的整数。方法步骤包括:准备第一溶液,通过将上述化合物、氟代硅氧烷基单体、催化剂及溶剂的混合溶液进行溶胶-凝胶反应后而形成;将第一溶液涂布于表面;以及进行干燥工序,以形成抗反射薄膜。氟代硅氧烷基单体,具有CF<sub>3</sub>(CF<sub>2</sub>)<sub>m</sub>CH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>-Si(OX)<sub>3</sub>的结构,式中,X选自C<sub>3</sub>H<sub>9</sub>-、C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>-或CH<sub>3</sub>-,m为0至10的整数。本发明的薄膜具有较低的光反射率,并且具有较高的耐磨耗度和硬度的物理性质。
申请公布号 CN101434614A 申请公布日期 2009.05.20
申请号 CN200710170356.X 申请日期 2007.11.15
申请人 达信科技股份有限公司 发明人 翁畅健;陈庆松
分类号 C07F7/04(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I 主分类号 C07F7/04(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 章社杲;李丙林
主权项 1. 一种用于制造抗反射薄膜的化合物,具有下式所示的结构:Si(OR)3-O-[Si(OR)2-O]n-Si(OR)3,其中,R选自C3H9-、C2H5-或CH3-;并且n为1至15的整数。
地址 中国台湾桃园县