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发明名称 Safety device for semiconductor device manufacturing apparatus, and operation method thereof
摘要
申请公布号 KR100898033(B1) 申请公布日期 2009.05.19
申请号 KR20070095823 申请日期 2007.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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