发明名称 APPRATUS AND METHOD FOR TREATMENTING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20090049919(A) 申请公布日期 2009.05.19
申请号 KR20070116282 申请日期 2007.11.14
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 KIM, CHUL SIK
分类号 H05H1/24;H05H1/34 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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