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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090049533(A) 申请公布日期 2009.05.18
申请号 KR20080099349 申请日期 2008.10.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOO, DONG CHUL;LEE, MYOUNG BUM;PARK, YOUNG GEUN;CHOI, HAN MEI;OH, SE HOON;KIM, BYONG JU;AN, KYONG WON;JO, SEON HO
分类号 H01L21/336;H01L21/316;H01L21/324 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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