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发明名称
SWING UNIT FOR WAFER AND CLEANING APPARATUS INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20090049360(A)
申请公布日期
2009.05.18
申请号
KR20070115588
申请日期
2007.11.13
申请人
SILTRON INC.
发明人
PARK, JAE BYUNG
分类号
H01L21/02;H01L21/00;H01L21/304
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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