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发明名称 HIGH-K DIELECTRIC FILMS HAVING GOOD RELIABILITY AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090049425(A) 申请公布日期 2009.05.18
申请号 KR20070115678 申请日期 2007.11.13
申请人 POSTECH ACADEMY-INDUSTRY FOUNDATION 发明人 KIM, HYUNG JUN;MEANG, WAN JU
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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