发明名称 基板收纳容器用盖体及基板收纳容器
摘要 提供可于盖体之狭窄空间配设上锁机构,而且,可以防止盖体开关装置之复杂化的基板收纳容器用盖体及基板收纳容器。具备可整齐收纳少数片半导体晶圆之容器本体、用以开关开口于容器本体之正面部之正面宽长的盖体(30),盖体(30)内建着嵌合于容器本体之正面部时进行上锁之上锁机构(60)。其次,上锁机构(60)系由:支撑于盖体(30),盖体(30)嵌合于容器本体之正面部时,与容器本体之正面部内周两侧相对之一对进退动卡止体(61);及盖体(30)嵌合于容器本体之正面部时,使进退动卡止体(61)从盖体(30)进出于容器本体之正面部内周两侧而干涉接触其前端部之一对线圈弹簧(62);所构成。因为于宽长之盖体(30)横向配置小型之上锁机构(60),可以适度地将上锁机构(60)配设于盖体(30)之狭窄内建空间。
申请公布号 TW200921829 申请公布日期 2009.05.16
申请号 TW097126108 申请日期 2008.07.10
申请人 信越聚合物股份有限公司 发明人 小田智;益子秀洋
分类号 H01L21/673(2006.01);B65D85/86(2006.01) 主分类号 H01L21/673(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本