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发明名称
微影装置及元件制造方法
摘要
本发明揭示一种微影装置,其经配置以将一来自一图案化元件之图案投影至一基板上。该微影装置包括一照明系统及一出口,该出口连接至一抽汲系统,以自该照明系统之一内壁与外壁之间抽离气体,或在存在一辐射源的情况下,自该照明系统之该内壁与该辐射源之一内壁之间抽离气体。
申请公布号
TW200921292
申请公布日期
2009.05.16
申请号
TW097135652
申请日期
2008.09.17
申请人
ASML荷兰公司
发明人
尤里 乔哈奈 贾瑞尔 凡 迪 威弗;贾克 尔德理安 鲁道夫 凡 因培;珍 伯纳德 波莱奇莫斯 凡 沙特;吉瑞德斯 哈柏特斯 彼佐斯 玛利亚 史温克斯;汉佐克斯 吉斯柏特斯 史奇妙;德曼 拉贝史吉
分类号
G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
荷兰
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