| 摘要 |
[发明课题]本发明提供一种可减少摄影手段数量的同时还可高精度进行检测的外观检查装置。[解决手段]于检查对象物（C）外观检查用的外观检查装置中，具备：设置成可对检查对象物（C）从特定方向看时的主检查面进行摄影的摄影手段（3）；及可对来自该检查对象物（C）从特定方向不同方向看时的副检查面的光的方向加以变更以使该副检查面的图像摄入上述摄影手段（3）的变更手段（4、5、6、7），此外，为了让检查对象物（C）的主检查面至摄影手段（3）为止的第2光路的光路长符合检查对象物（C）的副检查面至摄影手段（3）为止的第1光路的光路长，具备有可使该第2光路冗余的光路冗余手段（10、12)。 |
