高速载盘输送系统

摘要

本发明揭露一种半导体装置载盘之高速载盘输送系统，以增加载盘被输送至一取放装置之速度，进而增加一半导体处理机台之整体产出速度。本发明使用两或多个平台以承载载盘。该等平台可以通过彼此之下方或周围，使得当一平台被移动至该取放装置下方以进行取放操作时，另一平台可以循环于该取放装置周围并且准备另一电子装置载盘。