一种形成奈米尺度开口的方法

摘要

一种形成奈米尺度（nano-meter scale）开口的方法，包含首先提供基板，其包含材料层。接着于材料层中形成开口的第一部份，继续再形成开口的第二部份，其中使用压印（imprint）来形成开口的第一部份以及第二部份中之至少一者。