光阻组成物及使用它之图案形成方法

摘要

一种光阻组成物包括(A)一种树脂，其包括：一种因酸之作用可分解而增加在硷显影液中溶解度且由式(I)表示之重复单元、及一种由式(II)表示之重复单元；及(B)一种在以光似射线或辐射照射时可产生酸之化合物：#P 097137014P01.bmp其中A表示氢原子、烷基、羟基、烷氧基、卤素原子、氰基、硝基、醯基、醯氧基、环烷基、芳基、羧基、烷氧基羰基、烷基碳氧基、或芳烷基；Ra表示含因酸之作用可分解基之基；Rb表示伸烷基、环伸烷基、或组合这些基之基；Y表示杂环基；及m表示0或1。