探针卡用台车及使用此台车之探针卡的处理方法

摘要

提供将探针卡装设至检查装置后，无需预热而可缩短预热时间份之检查时间之探针卡用台车。本发明之探针卡用台车20，系使用于用以搬送高温检查或低温检查之检查装置所使用之探针卡6'时，具备：装卸自如地装设着探针卡6'之台座21A；及将装设于该台座21A之探针卡6'，加热至晶圆之检查所要求之特定温度（例如，100℃）的温度调节机构22。