| 摘要 |
一种正型光阻组成物，其为含有具有式（a1－0－2）所表示之结构单位（a1），经由酸之作用而增大对硷显影液之溶解性之树脂成分（A），与含有式（b1－12）所表示之化合物所形成之酸产生剂（B1），经由曝光产生酸之酸产生剂成分（B）。[式（a1－0－2）中，R为氢原子、低级烷基或卤化低级烷基；X#sP!2#eP!表示酸解离性溶解抑制基；Y#sP!2#eP!表示伸烷基或2价之脂肪族环式基]R#sP!2#eP!－O－Y#sP!1#eP!－SO#sB!3#eB!#sP!-#eP!A#sP!+#eP! …（b1－12）[式（b1－12）中，R#sP!2#eP!为1价之芳香族有机基；Y#sP!1#eP!为可被氟取代之碳数1至4之伸烷基；A#sP!+#eP!为阳离子]。[化1]#P 097127348P01.bmp |
