高信赖性之固态发光元件的制作方法

摘要

本发明提供一种高信赖性之固态发光元件的制作方法，包含以下步骤：(a)于一磊晶基板上的一第一磊晶膜形成复数相互交错且连通并定义出复数柱体的沟槽；(b)对该第一磊晶膜施予再成长以形成一具有pn接面的第二磊晶膜；(c)利用一金属键合膜将该第二磊晶膜与一导电性基板键合；(d)于该等沟槽内引入湿式蚀刻剂以蚀刻各相邻沟槽间的柱体并移除该磊晶基板；及(e)于该第一磊晶膜与第二磊晶膜其中一者形成至少一接触电极。