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发明名称
金属间导体
摘要
本发明揭示一种金属间导电材料,其用于形成一积体电路中之互连件。在一些情况下,该金属间导电材料可为铝之一金属间合金。
申请公布号
TW200921789
申请公布日期
2009.05.16
申请号
TW097129446
申请日期
2008.08.01
申请人
美光科技公司
发明人
保罗A 法拉
分类号
H01L21/3205(2006.01);H01L21/768(2006.01)
主分类号
H01L21/3205(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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