发明名称 金属间导体
摘要 本发明揭示一种金属间导电材料,其用于形成一积体电路中之互连件。在一些情况下,该金属间导电材料可为铝之一金属间合金。
申请公布号 TW200921789 申请公布日期 2009.05.16
申请号 TW097129446 申请日期 2008.08.01
申请人 美光科技公司 发明人 保罗A 法拉
分类号 H01L21/3205(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 H01L21/3205(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国