具有交错式墙结构之晶圆容器

摘要

一种晶圆容器包括一底座与一封盖，其嵌套在一起。该底座包含一交错式墙结构，其由内墙和外墙组成。该交错式墙结构系安排成使得来自侧面碰撞之外力主要被外墙区段吸收。在该封盖上之一肋条抑制该外部墙区段弯曲超过该内墙直径。底座上之参考突出物有助于该底座对准该封盖。