| 摘要 |
本发明之积层陶瓷电容器烧成用工具材料之制造方法包括：于SiC粉末原料中，添加烧结后之残碳率未满5.0重量％之量之有机黏合剂并加以混合之步骤；添加水后加以捏合而成形之步骤；以1500~2400℃之温度进行烧结之步骤；于氧气浓度为2％以上之氧气环境下，以1350~1650℃之温度烧成1~6小时之步骤；以及藉由熔射法而于所形成之SiO#sB!2#eB!层表面上形成包含ZrO#sB!2#eB!或Al#sB!2#eB!O#sB!3#eB!之被覆层的步骤，藉由上述制造方法而获得于SiC基材表面上形成有SiO#sB!2#eB!层，视孔隙度为15％以上，视比重为3.05~3.20，SiC含量为90重量％以上，且于上述SiO#sB!2#eB!层表面上形成有包含ZrO#sB!2#eB!或Al#sB!2#eB!O#sB!3#eB!之被覆层的工具材料。 |
