有机金属化合物供给容器

摘要

本发明提供一种有机金属化合物供给容器，其中，在容器上部配设载体气体导入管之前端部，在容器底部配设载体气体导出管之前端部，并且在容器内充填着由常温下为固体之有机金属化合物被覆于对有机金属化合物呈惰性之担体而成的经担体承载之有机金属化合物；该有机金属化合物供给容器之特征为：当垂直设置容器时，以使经由载体气体导入管之前端部而供给之载体气体朝着相对于容器中心轴呈略垂直之方向喷出的方式，来构成载体气体导入管之前端部。