清洁热制程装置之透光元件的方法、热制程装置及利用此装置之制程

摘要

一种清洁热制程装置之透光元件的方法。前述透光元件是位于此装置之反应腔室内，而反应腔室内至少包括一晶片保持座，用以承载一晶片，且配置于透光元件下方；以及一能量源输出元件，配置于透光元件上方。本发明之方法例如是，进行一表面处理步骤，清洁透光元件的表面。