波面像差测量装置及方法、以及波面像差调整方法

摘要

本发明，系用以测量被检光学系统(20)之波面像差之波面像差测量装置，其具备：点光源(3a：1~3)，用以供应测量光；光检测器(7)，具有配置在与点光源成光学共轭位置之检测面；波面变化赋予部(5)，系配置在点光源与光检测器间之光路中，能对于经过被检光学系统的光赋予波面变化；及测量部(6)，系根据光检测器之输出、与波面变化赋予部中所赋予的波面变化，测量被检光学系统之波面像差。其并不使用干涉法，能以较简单之构成来测量被检光学系统的波面像差。