喷墨涂布装置之清洗方法，喷嘴检查方法，涂布控制方法，及成膜方法

摘要

本发明之课题在于提供一种喷墨涂布装置之清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。本发明的喷墨喷头之清洗方法，系将喷墨喷头利用单元构件覆盖，并藉由对单元构件作用抽吸力，便将洗净液施行既定时间喷射，在依使喷墨喷头与单元构件仅些微离开的状态下，使抽吸力作用而加以乾燥。本发明的喷墨涂布控制方法系在吐出作业后，将在流路所填充的吐出用液材取代为低挥发性取代材料，并于正要开始吐出作业之前，将取代材料再度取代为吐出用液材。本发明的喷墨喷头之检查方法系使从喷墨喷头所喷射出的液材，落滴于落滴处与非落滴处之反射率相异之检查用构件上。本发明的喷墨成膜方法，系等待依前一步骤所喷射的工件上之液滴乾燥达不流动程度后，将液材朝接触或部分重叠由前一步骤所落滴之液材液滴的位置处。