| 发明名称 |
微影装置及元件制造方法 |
| 摘要 |
本发明揭示一种浸润式微影装置之基板平台，其包含一被组态成可收集液体之屏障件。该屏障件包围该基板且与该基板相隔开。以此方式，从液体供应系统溢流出来之任何液体可被收集，以降低 |
| 申请公布号 |
TW200921295 |
申请公布日期 |
2009.05.16 |
| 申请号 |
TW097145513 |
申请日期 |
2005.04.04 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 |
发明人 |
阿卡斯 尤米希 可莱希灿可;乔纳斯 乔可巴斯 麦修斯 巴赛曼;史乔德 尼可拉斯 蓝伯特斯 当德斯;克里斯汀 亚历山大 胡根登;汉斯 强森;乔翁 乔纳斯 苏菲亚 马莉亚 马汀斯;乔纳斯 凯瑟尼斯 哈伯特斯 马肯斯;费力克斯 卡德弗莱 彼得 彼得斯;包伯 史崔弗科;法兰西斯克斯 乔纳斯 赫曼 马里亚 泰乌尼森;贺马 凡 圣诞 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 |
