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发明名称
具有可移动式档板的电极配置
摘要
本发明至少包含一电极配置其可用于具有一第一固定电极(3)及一第二可移动电极(18)之一涂布装置,在涂布过程中上述二电极之主要表面彼此相对,其中该第二电极(18)可沿着和该等相对主要表面平行之一平面移动,其中在朝向该主要表面横向移动之一电极的至少一端面提供一电子挡板(12、19、13),其延伸至少部分平行于该电极之该端面,其中形成该挡板之至少一部分(14)使其为可移动的。
申请公布号
TW200920872
申请公布日期
2009.05.16
申请号
TW096142258
申请日期
2007.11.08
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
史塔法蓝克;史帝芬悠福;史汀凯奥利夫;史盖德克劳斯
分类号
C23C16/50(2006.01)
主分类号
C23C16/50(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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