发明名称 VORRICHTUNG ZUM EINSPANNEN UND POSITIONIEREN EINES VERDAMPFERSCHIFFCHENS
摘要
申请公布号 AT430211(T) 申请公布日期 2009.05.15
申请号 AT20050775812T 申请日期 2005.07.27
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 HEIN, STEFAN;KLEIN, WOLFGANG
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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