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发明名称 Menetelmä nanolaminaattien valmistamiseksi
摘要
申请公布号 FI119941(B) 申请公布日期 2009.05.15
申请号 FI20000000564 申请日期 2000.03.10
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V., 发明人 ELERS,KAI-ERIK;SAANILA,VILLE;KAIPIO,SARI;SOININEN,PEKKA
分类号 C23C16/34;C23C16/06;C23C16/32;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/02;C30B29/36;C30B29/38;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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