发明名称 OVERALL DEFECT REDUCTION FOR PECVD FILMS
摘要
申请公布号 KR20090049074(A) 申请公布日期 2009.05.15
申请号 KR20097005898 申请日期 2009.03.23
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 LAKSHMANAN ANNAMALAI;NGUYEN VU NT;PARK, SO HYUN;BALASUBRAMANIAN GANESH;REITER STEVEN;KIYOHARA TSUTOMU;SCHMITT FRANCIMAR;KIM BOK HOEN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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