MEASURING HEAD SYSTEM FOR A COORDINATE MEASURING MACHINE AND METHOD FOR THE OPTICAL MEASUREMENT OF DISPLACEMENTS OF A SCANNING ELEMENT OF THE MEASURING HEAD SYSTEM

摘要

Die Erfindung betrifft ein Messkopfsystem (1) für eine Koordinatenmessmaschine mit einem Tastelement (6) mit einem zum Kontaktieren eines Messobjekts vorgesehenen Teil als kontaktierender Teil (5), der relativ zu einer fixen Messkopfbasis (2) in einer lateralen x-Richtung (20) und einer lateralen y-Richtung (21) bewegbar ist, sodass ein zu vermessendes Objekt mit dem Tastelement (6) mechanisch abtastbar ist. An der Messkopfbasis (2) ist ein optischer Sensor (10) mit einer auslesbaren Sensor-Zeile (11) aus einer Vielzahl von aneinander gereihten Sensorelementen fixiert. Des Weiteren sind Mittel, die insbesondere räumlich fix zum kontaktierenden Teil (5) angeordnet sind, zur Erzeugung einer - von Verschiebungen des kontaktierenden Teils (5) relativ zur Messkopfbasis (2) abhängigen - Projektion auf der Sensor-Zeile (11) mit mindestens einer Strahlungsquelle (15) vorhanden. Zusätzlich ist eine Auswerteeinheit vorhanden. Dabei weisen die Mittel mindestens ein erstes Masken- element (17) auf, das derart zur Erzeugung von einer ersten Teilprojektion auf der Sensor-Zeile (11) ausgebildet ist, dass diese zur Bestimmung einer x- und einer y-Verschiebung des kontaktierenden Teils (5) relativ zur Messkopfbasis (2) in der x- bzw. y-Richtung optimiert ist. Die Auswerteeinheit ist nun zur Bestimmung der x- und der y- Verschiebung aus nur durch die eine Sensor-Zeile (11) erzeugten Signalen ausgebildet.